三坐標測量儀是一種集光、機、電、計算機為一體的高精度、高效率的多功能精密設備，如果維護及保養做得好，就能延長機器使用壽命，并使精度得到保障，故障率降低。
三坐標測量儀價格昂貴，做好日常維護保養和排除常見故障可以節省大量費用。為使客戶更好地掌握和用好測量機，現列出測量機簡單的維護及保養規程。
1．三坐標測量機對環境要求比較嚴格，應按合同要求嚴格控制溫度及濕度；
2．三坐標測量機使用氣浮軸承，理論上是永不磨損結構，但是如果氣源不干凈，有油．水或雜質，就會造成氣浮軸承阻塞，嚴重時會造成氣浮軸承和氣浮導軌劃傷，后果嚴重。所以每天要檢查機床氣源，放水放油。定期清洗過濾器及油水分離器。還應注意機床氣源前級空氣來源，（空氣壓縮機或集中供氣的儲氣罐）也要定期檢查；
3．測量機的導軌加工精度很高，與空氣軸承的間隙很小，如果導軌上面有灰塵或其它雜質，就容易造成氣浮軸承和導軌劃傷。所以每次開機前應清潔機器的導軌，金屬導軌用航空汽油擦拭（120或180號汽油），花崗巖導軌用無水乙醇擦拭。
4．切記在保養過程中不能給任何導軌上任何性質的油脂；
5．定期給光桿、絲桿、齒條上少量防銹油；
6．在長時間沒有使用測量機時，在開機前應做好準備工作：控制室內的溫度和濕度(24小時以上)，在南方濕潤的環境中還應該定期把電控柜打開，使電路板也得到充分的干燥，避免電控系統由于受潮后突然加電后損壞。然后檢查氣源、電源是否正常；
7．開機前檢查電源，如有條件應配置穩壓電源，定期檢查接地，接地電阻小于4歐姆。
8、經常檢查光柵尺表面是否有水滴（尤其是開關空調后），如果有水，一定要用干棉花擦拭干凈。
